真空計はさまざまな精密な作業の場面で利用されていますその原理や情報
スポンサードリンク
真空計は、真空の圧力を測るための装置です。
半導体電子部品産業、自動車産業、化学工業や食品工業にいたるまで、ほとんどの産業でイオンスパッタリングや粒子加速など、真空下での作業を要するものがあります。また、研究機関においても、電子顕微鏡による観察のときなど、真空下での作業が必要です。このように、真空計は欠かせません。
真空状態にするには、真空ポンプ、ロータリーポンプや真空デシケーターを用い、高真空状態を得たいときには、ターボ分子ポンプを用います。
真空ポンプは、容器内から期待を排出して真空状態を得るものです。ロータリー真空ポンプは、タービン翼が高速回転して気体を排出するもので、ターボ分子ポンプは、気体分子を判時期飛ばすことによりガスを排気します。
測定する圧力に応じていろいろな種類があります。真空は、圧力が大気圧よりも低い状態であり、用途にも寄りますが一般的に、大気圧が101kPaであるのに対し、一般的な真空は1×10-4Pa高真空は1×10-6Pa、超高真空は1×10-8Paでといわれており、かなりの広範囲です。低圧域から加圧していくもの、逆に高圧域から減圧していくなど、用途はさまざまです。精密な機器なので、取り扱いには注意が必要です。
真空計は、測定する圧力に応じて、電離真空計と、同様の原理のBAゲージ、熱伝導真空計、U字管マノメーター、マクラウド真空計などいろいろな種類があります。
電離真空計は、多様な用途に対応可能で、多機能、高精度な品種です。各種制御装置や、FA化にも利用できます。熱陰極と冷陰極の2種類あります。動作原理は、気体の入射による熱の移動を利用します。原理的に粘性領域部では、正確な値を測定することができません。熱陰極はかなり精密な圧力測定を行うことができます。
また、真空値を示すのもデジタルタイプとアナログタイプがあります。USBやRS232Cを用いてPCに接続することができ、専用Windowsアプリケーションで圧力推移を記録してグラフ表示することができるなど、常に真空圧をモニタリングできるものもあります。
その他にも、フタル酸、アジピン酸、シロキサン中などの有機性汚染ガス中でも感度が低下しないもの、メンテナンスが必要ないもの、精度が極めて高いものなど、いろいろと優れた特性をもったものも揃っています。
このように、真空計には、いろいろな機種がラインナップされておりますので、仕様、環境、使い勝手などから、目的の機種に最適なものを探すことができます。
スポンサードリンク